采用催化燃燒法處理vocs，利用貴金屬（鉑、鈀、釕等）作為催化劑，通過燃燒分解消耗廢氣中的污染物，幾乎可以處理所有VOCs。利用貴金屬(鈀、鉑)的催化作用，將揮發(fā)性有機(jī)化合物的氧化溫度降低到280℃，當(dāng)廢氣中有機(jī)物經(jīng)催化氧化后所產(chǎn)生的熱量足夠維持催化劑床層的反應(yīng)溫度，而不需要對廢氣進(jìn)行預(yù)加熱的催化氧化過程，從而達(dá)到節(jié)省能耗的作用。催化氧化幾乎可以處理所有的烴類有機(jī)廢氣及惡臭氣體，即它適用于濃度范圍廣、成分復(fù)雜的各種有機(jī)廢氣處理。對于有機(jī)化工、涂料、絕緣材料等行業(yè)排放的低濃度、多成分，又沒有回收價值的廢氣，采用吸附-催化氧化法的處理效果更好。

通過控制脫附過程流量可將有機(jī)廢氣濃度濃縮很多倍，脫附氣流經(jīng)催化床內(nèi)設(shè)的電加熱裝置加熱至一定溫度后，在催化劑作用下起燃，催化燃燒過程凈化效率是很高的，燃燒后生成CO2和H2O并釋放出大量熱量，該熱量通過催化燃燒床內(nèi)的熱交換器一部分再用來加熱脫附出的高濃度廢氣，另外一部分加熱室是對外來的空氣做活性碳脫附氣體使用，達(dá)到熱平衡后可關(guān)閉電加熱裝置，這樣就可以靠廢氣中的有機(jī)溶劑做燃料，使再生過程達(dá)到自平衡循環(huán)，大大的減少能耗，不會有二次污染產(chǎn)生。