激光測(cè)厚儀是由上下兩個(gè)對(duì)射的激光位移傳感器組成,其基本測(cè)量原理如圖所示:
圖1中激光位移傳感器1和激光位移傳感器2以固定間距A相對(duì)布置,工作時(shí)激光位移傳感器1發(fā)射一束激光照射被測(cè)物的下表面
,下表面光斑的漫反射光再通過(guò)透鏡系統(tǒng)返回到激光移位傳感器1內(nèi)的CCD或CMOS芯片上,通過(guò)對(duì)CCD或CMOS芯片上光斑的位置分析
計(jì)算,可以得到激光位移創(chuàng)拿起1到被測(cè)物上下表面的實(shí)際距離B1;
同理,可以得到激光位移傳感器2到被測(cè)物上表面的距離B2。用兩個(gè)傳感器之間的間距A減去兩個(gè)傳感器到被測(cè)物上下表面的
距離B1、B2即可得到被測(cè)物的厚度H。
圖2所示,位移傳感器下方設(shè)置一個(gè)托板,用傳感器測(cè)出托板與傳感器的間距L0,當(dāng)托板上方防止被檢測(cè)物時(shí),可用傳感器測(cè)
得被測(cè)物與傳感器的間距L1。
將L0和L1的新號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)內(nèi)裝的測(cè)量系統(tǒng)后,即可計(jì)算(L0-L1)得出被測(cè)物的厚度H。在實(shí)際應(yīng)用中,L0的數(shù)值將直接寫(xiě)
入測(cè)量系統(tǒng)(系統(tǒng)還知道L0的校零功能),在被測(cè)物放置到托板上后即可得出被測(cè)物的厚度。
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